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簡要描述:【產品名稱】1200℃-PECVD茄子视频下载污係統【爐管尺寸】φ40--φ100mm【加熱區】300mm/440mm 【額定溫度】1200℃【控溫精度】±1℃ 【應用領域】PECVD係統(等離子增強化學氣相沉積係統)由茄子视频下载污、真空獲得、流量控製和射頻電源四大模塊組成。
詳細介紹
品牌 | 茄子视频黄片下载爐業 | 升溫速度(達到最高溫) | 90/min |
---|---|---|---|
加熱方式 | 電阻式 | 控溫精度 | ±1℃ |
最高溫度 | 1200℃ | 價格區間 | 麵議 |
儀器種類 | 茄子视频下载污 | 產地類別 | 國產 |
應用領域 | 綜合 |
商品描述
【產品名稱】1200℃-PECVD茄子视频下载污係統
【爐管尺寸】φ40--φ100mm
【加熱區】300mm/440mm
【額定溫度】1200℃
【控溫精度】±1℃
【應用領域】1200℃-PECVD茄子视频下载污係統(等離子增強化學氣相沉積係統)由茄子视频下载污、真空獲得、流量控製和射頻電源四大模塊組成, 本設備借助13.56Mhz的射頻輸出使含有薄膜組成原子的氣體電離,在真空腔體內形成等離子體,利用等離子的強化學活性,改善反應條件,使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應,從而實現薄膜材料生長的一種新的製備技術,最終得到基片上沉積出所期望的薄膜。
性能特點:
CVD茄子视频下载污係統由茄子视频下载污、真空獲得、流量控製和射頻電源
茄子视频下载污可選擇不同的管徑和恒溫區的長度,爐管兩端裝有高真空不鏽鋼密封法蘭;
真空獲得係統可根據試驗要求選擇不同的真空泵,旋片式機械真空泵真空度≤5pa,分子泵真空機組真空度1×10-4pa;
氣路供氣係統可選擇3路浮子手動和3路自動質量流量係統
真空測量為數字複合真空機或皮拉尼真空計
等離子體放電選擇13.56Mhz的設備電源,功率輸出可選擇200W、300W和500W
茄子视频下载污可選擇單溫區300mm和440mm,也可選擇三溫區或多溫區進行溫度的梯度試驗
溫控器內置的RS485數字通信端口和USB適配器作為可選配置,可連接PC,用於係統的遠程控製和監視,還可以保存或導出測試結果。
產品符合歐盟CE標準。
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